• Bu yöntemde buharlaştırılacak malzeme (katot (-V)) ve vakum odası duvarları arasına düşük voltaj (20-30 V) yüksek akım (100-200 A) özelliğine sahip bir potansiyel uygulanmaktadır.
• Başlangıçta kısa devre yaparak tetikleme oluşturulup anot-katot arasındaki akım geçişi ile katot yüzeyinde çok küçük alanlarda sıcaklığı 2500°C civarında olan ark izinin (spot) oluşumu sağlanmaktadır.
• Katodun önünde yüksek elektron akışı ile buharlaşan atomların iyonizasyonu sağlanmaktadır.
• Buharlaştırma işlemi sırasında katot malzemesinin iyi bir şekilde soğutulmadığı ya da ark izinin etrafının fazla ısındığı durumlarda film kalitesini bozan droplet adı verilen büyük sıvı kütlelerinin oluşup yüzeyden kopması söz konusudur. Bu etkiyi azaltıcı veya yok edici sistemler geliştirilmiştir.
Kaynak: Yrd. Doç. Dr. Atilla Evcin’in “2006 yılı Kaplama Teknikleri Ders Notları”ndan derlenmiştir.
