Buhar Biriktirme nedir? Malzeme Bir kaynaktan transfer edilen malzemenin kimyasal kompozisyonunun kontrol altına alınarak bir altlık üzerine biriktirilmesidir. Kaynak: Prof. Dr. Hatem Akbulut’un “Nano Kaplama Teknikleri” (30 Ekim 2006 Pazartesi) sunumundan derlenmiştir.