CVD ile Nano Malzeme üretiminde iki yöntem mevcuttur:
I) Önce CVD kaplama sonra ikinci işlemler (dağlama, nano işleme vs.)
II) Önce dağlama sonra kaplama (Dağlanan yüzeylere tercihli kaplama)
Kaynak: Prof. Dr. Hatem Akbulut’un “Nano Kaplama Teknikleri” (30 Ekim 2006 Pazartesi) sunumundan derlenmiştir.