- Elektron demet litografisi
- Derin UV litografisi
- X-Işını litografisi
- 2 ve 3 boyutlu Nano baskı litografisi
- Mikro-temas baskı litografisi
- Atom litografisi
- Derin kalem ucu işleme litografisi
Kaynak: Prof. Dr. Hatem Akbulut’un “Nano Kaplama Teknikleri” (30 Ekim 2006 Pazartesi) sunumundan derlenmiştir.